Apacheのエラーログを閲覧し、エラーの詳細を確認してください。

■(20014)Internal error: proxy: search for temporary directory failed というエラーメッセージの場合
ディスクの空き容量が不足している可能性があります。
不要なファイルを削除するなどにより、空き容量を確保してください。